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제품소개

반도체 CVD, ETCH 공정의 오랜 기간 축적 해온 노하우와 기술력을 바탕으로 고객사의 다양한 요구에 대응하고 작은 요청에도 최선을 다하고 있습니다.

MATTSON ASPEN3

MATTSON Aspen-3

웨이퍼 표면에서 마스크 패턴 재료를 선택적으로 제거하여, 웨이퍼 표면에 원하는 패턴을 생성하는 공정을 담당하는 Aspen-3 장비의 유지 및보수를 위한 구성 부품들의 수리와 개조를 지원합니다.

PMAC CONTROLLER

Robot 구동용 Controller Repair

P/N
WS-908-0013
WS-908-0005
WS-908-0014
1004060 (WS-908-0014)
552-21177-00
552-09622-00 (WS-908-0008)
552-23882-00 (WS-908-0013)
552-21528-00 (WS-908-0012)
552-19814-00

- PMAC Cpu Board
- Servo Card
- Power Supply (70V, 5V)

Lead Time: 2~3주
Warranty: 4개월

PMC CONTROLLER

ATM Robot 구동용 Controller Repair

P/N
552-21527-00 (WS-904-0017)
552-21176-00
552-09619-00 (WS-904-0012)
WS-904-0018
552-23881-00 (WS-904-0018)

- PMC Cpu Board
- Servo Card
- Power Supply (70V, 5V)

Lead Time: 2~3주
Warranty: 4개월

VACUUM ROBOT

Robot Arm 구동 Body Assy Repair & Overhaul

P/N
263-07641-00

- Bearing 및 Timing Belt 교체
- Quad Ring 교체
- Cycle Test HR 진행
- Motor 및 Gear Box 교체

Lead Time: 6~8주
Warranty: 4개월

MC CONTROLLER

Repair & Hardware,SoftwareUpgrade

P/N
512-23074-00

- SBC Board 교체
- 5V, 12V Power Supply 교체
- OS 및 Mattson Program Install

Lead Time: 2~3주
Warranty: 4개월

UI CONTROLLER

Repair & Hardware,SoftwareUpgrade

P/N
512-23075-00

- SBC Board 교체
- 5V, 12V Power Supply 교체
- OS 및 Mattson Program Install

Lead Time: 2~3주
Warranty: 4개월

PROCESS AC BOX

Main AC Power 공급 Box Repair

P/N
263-09224-00

- AC Contactor 교체
- SSR 및 Cable 교체
- Temp Controller 수리 및 교체
- Power Supply 수리 및 교체

Lead Time: 2~3주
Warranty: 4개월

MATTSON SUPREMA

패터닝 공정이 완료된 후, 웨이퍼에서 마스킹 층을 제거하는 공정을 담당하는 SUPREMA 장비의 유지 및 보수를 위한 구성 부품들의 수리와 개조를 지원합니다.

QUAD SEAL SLIT VALVE

소모성 Parts 교체 & Overhaul

PM Quad Seal Slit Valve – P/N: 3002027
LL Quad Seal Slit Valve – P/N: 3002028

- bellows 및 Cylinder 교체
- 각종 Bushing 및 Bearing 교체
- Vacuum Leak 및 구동 Test

Lead Time: 2~3주
Warranty: 4개월

BELLOWS TYPE SLIT VALVE

소모성 Parts 교체 & Overhaul

PM Bellows Slit Valve – P/N: 3008807
LL Bellows Slit Valve – P/N: 3008809

Lead Time: 2~3주
Warranty: 4개월

SC CONTROLLER

Repair & Hardware,SoftwareUpgrade

Suprema SC Controller – P/N: 3001431
Suprema PM Controller – P/N: 3001430

- SBC Board 교체
- Power Supply 교체
- SSD 및 Suprema Software Install

Lead Time: 2~3주
Warranty: 4개월

VACUUM ROBOT OVERHAUL

소모성 Parts 교체, Overhaul

THETA2 Bellows Vacuum Robot – P/N: 3004362
THETA1 Bellows Vacuum Robot – P/N: 3004363
THETA2 Quad Seal Vacuum Robot – P/N: 263-24574-00
THETA1 Quad Seal Vacuum Robot – P/N: 263-24576-00

- Bearing 및 Timing Belt 교체
- Cylinder 및 Quad Seal 교체
- Smart Motor 점검 및 교체
- Cycle Test 진행 → 실제 설비에 장착 후 Test

Lead Time: 5~6주
Warranty: 4개월

MATTSON RTP